728x90
반응형
산업
-
반도체 장비 국산화 1탄 – OHT와 FOUP 국산화산업/반도체소부장 2021. 6. 9. 10:55
반도체 공정에서는 원재료인 웨이퍼가 완제품인 칩이 될때까지 세부적으로 수백개의 공정을 거치 게 됨. 이 과정에서 수십만건의 물류 이동이 발생하기 때문에 이를 가장 효율적으로 하기 위한 시스템이 OHT시스템입니다. OHT는 (Overhead Host Transport)의 약자로 모든 반도체 공장에는 레일에 달린 홀더형태의 박스가 천정과 벽면을 타고 이동하면서 웨이퍼가 담긴 FOUP을 이동시킴. OHT가 없 던 시기에는 사람이 직접 카트를 밀고 다니면서 FOUP을 들고 날랐음. OHT는 수백가지의 공정 사이를 서로 부딪히지 않고, 설비를 자율적으로 찾아서 이동해야 하기 때문에 모든 OHT의 정보는 중앙 컨트롤러로 전송됨. 각 OHT는 무선통신모듈이 설치되어 양방향 통신이 가능함. 국내 OHT 시장은 기존에 ..